EXE-FLOWTMはExact“ 正確な流量計測”　 Excellent “優れた機能” をコンセプトに製品化しました。小流量(F.S.10sccm)から大流量(F.S.200slm)までをカバーし、 標準在庫を11レンジ用意しています。特徴として、次のような項目があります。新型高性能センサー搭載のローコストモデル、小型軽量、単電源DC24V駆動、RS-485通信機能標準搭載、RoHS,CE規格対応、表示器一体型で簡単操作　等があります。

マスフローに使用されている流量センサーは、一般的には熱式流量センサーと呼ばれるものです。その検出原理を以下に記します。センサー部である毛細管図3には、抵抗温度係数が大きい抵抗体を上流側（Rus）、下流側（Rdsにそれぞれ巻きつけてあります。これに電流を流すことにより、2つの抵抗体は発熱します。この時毛細管の内部に流体が流れない状態ですと、上流、下流ともに同じ温度でバランスします。（図3グラフの実線、流量ゼロ＝マスフローで一般的にいうゼロ点の位置になります）この状態で流体が流れ始めると、温度分布が図3グラフの破線のように変化します。このとき上流側は流体により熱を奪われ、逆に下流側には上流側から奪われた熱があたえられることになります。つまり、上流と下流の間に温度差（T）が生じるということです。この温度差（T）が流体の質量流量に対して、関数関係であることに着目し、各々の抵抗値の変化を電気信 号として取り出し、増幅、補正することにより、ある条件下で質量流量を計測できる熱式質量流量計として機能するのです。