【オートペリクルマウンター】
半導体の製造では、フォトマスクと呼ばれる石英ガラスに書かれた微細な回路を、シリコンウェハ上に焼き付けます。ここで問題になるのが異物で、フォトマスク上に異物があると一緒に結像してしまい不良品となります。もちろん半導体は高レベルなクリーンルームで製造されますが、人が作業する限り異物をゼロにはできません。そこでフォトマスクに「ペリクル」と呼ばれるカバーを付けてフォトマスクへの異物付着を防止します。このペリクルを自動的に装着する装置が当社の「オートペリクルマウンター」です。

全てが受注生産ですので、お客様のご要望をお聞きして一から構想し、材料選定から図面化、加工、組立、最終調整までトータルで品質管理を行い、全てを一貫して担当しています。限られた仕様の中で、自分が持てる技量でお客様からの期待や要望にお応えする難しさはありますが、それがやりがいでもあり、技術者冥利に尽きる面白さでもあります。