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ノベリオンシステムズ株式会社

地域 山城, 京田辺市
業種 26:生産用機械器具製造業, 32:その他の製造業
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の仕事

ノベリオンシステムズは,核融合プラズマ加熱装置用の大電流負イオン源技術を起源とする,技術開発型ベンチャー企業です.当社の掲げるビジョンは,『先進のプラズマ技術で微細加工の未来を拓く!』。近年のモノのインターネット化(IoT)による各種センサー素子や高周波回路素子の利用の広がりに伴い,圧電薄膜や磁性薄膜など,従来のシリコンプロセス装置では加工困難な材料に対応できる微細加工装置が求められています。
当社では,このような新規の技術ニーズに応えるべく,酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています.

自慢の逸品

微細加工装置に適用できる,ECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の高出力プラズマ源です.
【特長】
・独創的な磁石構成による大容積ECR磁場 ・強力な冷却システムによるkW級大電力動作 ・メタルコンタミフリーの誘電体ライニング ・複数配置により大面積プラズマを実現するモジュールコンセプト
【応用例】
 ・ドライエッチング装置やアッシング装置のソースパワー・反応性イオンビーム加工装置(RIBE)のイオン源・イオン窒化・酸化装置やDLC成膜装置のプラズマソース

技術者の思い

プラズマ応用装置やイオンビーム装置をリーズナブルなご予算でカスタムメイクいたします.お客様が開発目標に到達されるまで丁寧にサポートします.当社は、新規の技術ニーズに応えるべく,酸素や各種の活性ガスが使用できる ECR(電子サイクロトロン共鳴)高密度プラズマ源およびECR大電流イオンビーム源の開発を進めています.【開発例】 ・化合物薄膜用スパッタ成膜装置 ・イオンビームエッチング装置 ・各種プラズマCVD/エッチング装置 ・PVDコーティング装置および高速蒸発源 ・管内面コーティング装置 ・中性ラジカル処理装置 ・集光型高フラックスイオンビーム加工装置 ・超低エネルギー大電流イオンビーム照射装置 ・汎用真空テストスタンド ほか
  1. 研究開発

    半導体業界対してプラズマの物理作用による加工プロセスを開発
  2. 設計

    3次元CADによる設計とシュミレーショション
  3. 部品製造

    協力会社で部品加工
  4. 組立検査

    1,PVD型結晶成長装置の組立検査
    2,各種プラズマ応用装置の組立検査

どんなところに使われているの?

半導体・MEMS製造設備、電子部品製造設備で使用されています
  • 産学共同研究

    同志社大学理工学部と連携研究

  • ECRラインビームイオン源(ELBS-150)

    反応性イオンビームミリング装置に適用できる,電子サイクロトロン共鳴放電型のラインビームイオン源です.【応用例】・MEMS構造体の高速ミリング形成 ・磁気ヘッドのミリング加工 ・高周波回路トリミング調整

  • コンパクトECRイオン源

    超高真空装置にも適応できるECR(電子サイクロトロン共鳴)放電型の小型原子ビーム源(ラジカル源)です. 【応用例】・MBE装置の窒素/酸素ラジカル源 ・表面クリーニングのための原子状水素源

  • 大学の講師

    同志社大学生命医科学部で講師を行っており、教育にも積極的に参画しています

会社概要

事業内容 プラズマ技術の応用による、PVD結晶成長装置の開発および窒化物半導体結晶の開発
設立 2006年8月
代表者 代表取締役 前野 修一
所在地 〒610-0332 京都府京田辺市興戸地蔵谷1番地同志社大学京田辺キャンパス業成館201
電話番号 0774-65-3022